UNIK1000VCR系列（PTX1072）

本产品适用于： 1. 半导体、太阳能、液晶面板制造设备 2. 纯介质和特殊气体系统压力测量 3. 超高纯及有毒等特种电子气体等。

应用行业：

• 半导体、太阳能、液晶面板制造设备

• 纯介质和特殊气体系统压力测星

应用流体：

• l 超高纯及有毒等特种电子气体

特点：

• l 可测真空压力，量程范围：0-7MPa

• l 测量精度可达±0.25% FS BSL；

• l 工作温度范围：-40~8（FC；

• l 硅压阻敏感元件，高稳定性，高可靠性；

• l 全316L不锈钢结构

• l 压力接头脱脂清洗，产品真空包装；

• l 快速响应时间，上电时间小于30ms;

• l 所有接液部分表面电抛光处理，符合EP Grade5；

• l 所有接液部分表面粗糙度不超过Ra 0.2；

性能指标

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量程	0-7MPa表压之间任意选择 0-7MPa顚之间任誕择
*大过压	4xFS (2OMpa Max)
封堵压力	6xFS (2OMpa Max)
精度等级	±0.25%FS BSL （BSL*佳拟合直线）
温度影响	±15%FSTHB （TEB:温度误差带）
材质	316L不锈钢
供电电压	7~32Vdc
输出形式	4~20mA;V
工作温度范围	-40 ~ +80 C
木卜偿温度范围	-20 ~ +80C
频率响应	3.5KHZ
上电时间	<30ms
绝缘电阻	>100MQ@500VDC
长期稳定性	±0.1%FS 每年
压力介质	与316L不锈钢兼容的流体
零点允许误差	±1.0%FS
满量程允许误差	±1.0%FS

电气接口性能

编号	描述	*大工作温度范围℃	IP等级	零、满调整
7	DIN43650.可拆卸	-40~+80	65	是
G	M12*l四针	-40~+80	65	否

电气连接

接头类型	选项编号		电子产品选项 I
			4 - 20 mA	电压1
DIN, MicroDIN	7,D	1	+ve供电	+ve供电
		2	-ve供电	0V共地
		3	-	+ve输出
		E	外壳	外壳
M12*l四针	G	1	+ve供电	+ve供电
		2	-	+ve输出
		3	-ve供电	0V共地
		4	外壳	外壳